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電子光學凈化工程

安徽芯片廠萬級凈化車間凈化工程分享

來源:www.gotink4u.com 作者:空氣好凈化
發布時間:2025-10-11 08:50:58點擊:

     本芯片廠凈化工程含1張外立面與6張內部萬級凈化車間效果圖,風格統一適配芯片生產需求。外立面采用銀灰色鈦鋅板與超白Low-E玻璃,兼具抗電磁干擾與高透光性,預留大型設備入口與新風系統接口,滿足芯片生產設備運輸與環境調控需求。?

    內部按芯片工藝流程劃分光刻輔助區、晶圓預處理區、封裝過渡區等,各區域通過無塵傳遞艙銜接。車間嚴格執行萬級潔凈標準(ISO8級),每立方米空氣中≥0.5μm微粒數≤352000個,采用初效-中效-高效-化學過濾四級凈化系統,配合垂直層流送風,每小時空氣置換25-30次。墻面為防靜電不銹鋼板,地面是環氧樹脂自流平材質,溫度穩定在23±1℃、濕度45±3%RH,同時配備靜電消除裝置,避免微粒與靜電影響芯片良率,完全契合芯片生產嚴苛要求。