車間以銀白與淺灰為基調(diào),搭配亮黃警示線條,構(gòu)建出無塵、高效的生產(chǎn)空間。?
核心區(qū)域可見百級潔凈度的光刻車間,頂部密布FFU風(fēng)機過濾單元,通過垂直層流控制微粒濃度(≤0.3μm顆粒每立方米<100個)。操作臺采用防靜電材質(zhì),配備離子風(fēng)扇消除靜電干擾。?
生產(chǎn)線配備全自動晶圓傳送機械臂、激光焊接設(shè)備,透明防塵罩與實時粒子計數(shù)器確保工藝穩(wěn)定性。走廊設(shè)置防靜電地板與人員凈化通道,風(fēng)淋時間嚴格控制在30秒,全方位滿足微電子元件的超高潔凈生產(chǎn)需求。