隨著柔性電子、Micro-LED等新興產業崛起,電子廠房凈化工程正突破傳統框架,演化出更復雜的技術適配方案。這些領域的制造工藝,對環境控制提出了超越常規的特殊要求。?
柔性顯示屏車間面臨“潔凈度與微振動”的雙重挑戰。其OLED蒸鍍工序需ISO5級潔凈環境,同時要求地面振動振幅≤5μm。這催生了“懸浮式潔凈室”設計——將核心設備區架設在彈簧減震基礎上,與廠房主體結構完全隔離,配合FFU過濾器的低噪聲運行(≤60dB),為精密蒸鍍提供“零干擾”環境。
?

Mini/Micro-LED制造則對微??刂铺岢鲂戮S度。除了常規的固態顆粒,車間還需嚴格控制“分子污染物”(AMC)。通過在空調系統中增設化學過濾器,針對氨氣、揮發性有機物(VOCs)等進行專項吸附,將分子污染物濃度控制在ppb級(10億分之一),否則會導致芯片發光效率衰減30%以上。
?

新能源電子器件車間的凈化工程更強調“多功能協同”。例如車規級IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)車間,既要達到ISO6級潔凈度,又要具備防爆功能——通風系統采用防爆風機,電氣設備滿足ExdⅡBT4等級,同時通過智能傳感器實時監測氟利昂等制冷劑泄漏,構建潔凈與安全的雙重防線。?
這些新興領域的凈化技術突破,不僅推動著電子制造精度的邊界,更重塑著凈化工程的技術標準,成為高端制造業升級的隱形引擎。?