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馬鞍山無塵車間

馬鞍山萬級芯片生產潔凈車間凈化工程

來源:www.gotink4u.com 作者:空氣好凈化
發布時間:2025-09-23 09:09:03點擊:

     本萬級芯片生產潔凈車間是芯片制造的核心配套空間,總建筑面積適配規?;a需求,空間布局按芯片工藝流程科學劃分,涵蓋預處理區、光刻輔助區、檢測過渡區等功能分區,各區域通過密封式通道連接,可滿足芯片從基材準備到半成品暫存的多環節生產需求,同時預留靈活改造空間,能適配不同型號芯片的生產調整。?

    車間潔凈度嚴格遵循萬級標準(ISO8級),每立方米空氣中≥0.5μm的微粒數不超過352000個,通過初、中、高效三級空氣過濾系統實現空氣循環凈化,配合地面環氧樹脂無縫涂層、墻面不銹鋼潔凈板及圓弧角設計,減少灰塵積聚與死角。車間內溫濕度精準控制在23±2℃、45±5%RH,壓力梯度維持正壓狀態,有效阻隔外部污染物侵入,為芯片生產提供穩定、潔凈的環境,保障芯片良率與性能。