先說(shuō)說(shuō)技術(shù)這塊，這可是裝修的重頭戲。車(chē)間里的通風(fēng)設(shè)計(jì)很講究，用的是“垂直層流”方案，就是在車(chē)間天花板鋪滿(mǎn)FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元。空氣流動(dòng)速度也有要求，控制在0.45-0.55米/秒，這樣干凈空氣就能均勻吹遍整個(gè)車(chē)間。地面得用能導(dǎo)電的環(huán)氧自流平材料，再配上接地網(wǎng)格，把防靜電做到位，電阻值保持在10的4次方到10的6次方歐姆，對(duì)生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片特別合適。墻面用的是電解鋼板，表面先磷化處理，再?lài)娚檄h(huán)氧涂料，墻縫還要用專(zhuān)用密封膠封死，保證每小時(shí)每米墻面的漏氣量不超過(guò)0.1立方米。通風(fēng)系統(tǒng)更是層層把關(guān)，從初效、中效、亞高效到高效，一共四級(jí)過(guò)濾，特別是高效過(guò)濾器，直接上H14級(jí)別的，把灰塵顆粒攔得死死的。?

    后期維護(hù)也得系統(tǒng)化來(lái)做。設(shè)計(jì)的時(shí)候，就留出1.2米寬的檢修通道，墻面上裝些能拆下來(lái)的檢測(cè)口，再裝上溫濕度、灰塵監(jiān)測(cè)傳感器，數(shù)據(jù)直接傳到中控室。材料也考慮到了維修方便，像墻面用的卡扣式彩鋼板，哪塊壞了拆下來(lái)單換就行，省錢(qián)又省事。地面用的耐磨環(huán)氧材料，平時(shí)打掃就用無(wú)塵布，配上專(zhuān)用清潔劑，小心別刮花了。?

    日常維護(hù)都有一套標(biāo)準(zhǔn)流程：每天都得打掃地面和墻面，設(shè)備底下、墻角這些容易積灰的地方更得重點(diǎn)清理；每周要換一次初效過(guò)濾器，檢查下中效過(guò)濾器的阻力；每個(gè)月都得看看FFU風(fēng)機(jī)運(yùn)行正不正常，空調(diào)除濕效果好不好；每三個(gè)月請(qǐng)專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)來(lái)檢測(cè)車(chē)間潔凈度，校準(zhǔn)監(jiān)測(cè)設(shè)備。進(jìn)車(chē)間的人管理也很?chē)?yán)，得先換衣服，再進(jìn)風(fēng)淋室吹30秒以上，全身消毒，穿上防靜電的潔凈服，就怕帶進(jìn)灰塵污染了車(chē)間。把這些技術(shù)和維護(hù)都做到位，安徽的千級(jí)潔凈車(chē)間就能穩(wěn)穩(wěn)滿(mǎn)足高端產(chǎn)業(yè)的需求，給地方科技發(fā)展出大力。?